méthode de perturbation; méthode des éléments finis; MEMS; perturbation method; finite element method
Research center :
Applied and Computational Electromagnetics (ACE) - Department of Electrical Engineering and Computer Science – University of Liège
Disciplines :
Electrical & electronics engineering
Author, co-author :
Boutaayamou, Mohamed ; Université de Liège - ULiège > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Exploitation des signaux et images
Vazquez Sabariego, Ruth ; Université de Liège - ULiège > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Applied and Computational Electromagnetics (ACE)
Dular, Patrick ; Université de Liège - ULiège > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Applied and Computational Electromagnetics (ACE)
Language :
English
Title :
A Perturbation Finite Element Technique for Modeling Electrostatic MEMS
Publication date :
18 March 2008
Event name :
MEMS and Nanotechnology through Science and Applications - Scientific Day of NanoWal
Event organizer :
Université Catholique de Louvain
Event place :
Louvain-la-Neuve, Belgium
Event date :
18 mars 2008
Name of the research project :
Projet ARC (Convention 03/08-298, “Modélisation, Simulation Multiphysique et Optimisation de Problèmes Couplés - Application aux Micro-Systèmes Électromécaniques (MEMS)”)
